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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
5910UHP型水分分析儀
石英晶體微平衡水分分析儀在超高純度(UHP)氣體pptv級水分監(jiān)測方面有著****的性能。操作簡單的19"機(jī)架安裝分析儀具有很多出色的性能特點(diǎn),包括內(nèi)置的零點(diǎn)校驗(yàn)系統(tǒng),可以為你的半導(dǎo)體氣體體系提供能夠獲得的*好的保護(hù)。工作量程能夠達(dá)到1000ppbv。
詳情介紹:
5910UHP型水分分析儀
石英晶體微平衡水分分析儀在超高純度(UHP)氣體pptv級水分監(jiān)測方面有著****的性能。操作簡單的19"機(jī)架安裝分析儀具有很多出色的性能特點(diǎn),包括內(nèi)置的零點(diǎn)校驗(yàn)系統(tǒng),可以為你的半導(dǎo)體氣體體系提供能夠獲得的*好的保護(hù)。工作量程能夠達(dá)到1000ppbv。
石英晶體微平衡水分分析儀在超高純度(UHP)氣體pptv級水分監(jiān)測方面有著****的性能。操作簡單的19"機(jī)架安裝分析儀具有很多出色的性能特點(diǎn),包括內(nèi)置的零點(diǎn)校驗(yàn)系統(tǒng),可以為你的半導(dǎo)體氣體體系提供能夠獲得的*好的保護(hù)。工作量程能夠達(dá)到1000ppbv。
5910UHP型水分分析儀
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概述
概述摘要 5910型水分分析儀是目前監(jiān)測存在于高純大氣氣體中的痕量水分污染物的先進(jìn)設(shè)備。5910型水分儀的**性能是將**度,靈敏度,和響應(yīng)速度****的結(jié)合到一起。 極低的噪聲和極強(qiáng)的靈敏度使得該水分分析儀的檢測限達(dá)到了150ppt。*小的樣氣接觸表面使5910對變化的水分甚至比光學(xué)儀器有更好的響應(yīng),因?yàn)楣鈱W(xué)儀器的響應(yīng)速度受到大很多的樣氣接觸體積的固有限制。 5910型水分分析儀只能在19"機(jī)架/椅式安裝,帶配備本地顯示器和鍵盤。內(nèi)置的零點(diǎn)校驗(yàn)系統(tǒng)是標(biāo)準(zhǔn)配置。 需求 現(xiàn)今,許多半導(dǎo)體制造設(shè)備都要求氣體中的水分濃度低于ppbv級。遺憾的是,單個(gè)數(shù)字的ppbv數(shù)值級別的水分濃度測量依然是當(dāng)今已知的分析領(lǐng)域中*困難的挑戰(zhàn)之一。 當(dāng)監(jiān)測單個(gè)數(shù)字的ppbv數(shù)值級別或者更低的水分濃度時(shí),分析儀的響應(yīng)速度的限制不是來自測量使用的技術(shù)。*重要的參數(shù)是流經(jīng)樣品池的樣氣接觸表面,還包括樣品池,這些表面和一個(gè)新的濕潤水平達(dá)到平衡比起傳感元件測量需要更長的時(shí)間。如果,在瞬時(shí)濕潤情況下,分析儀不能和這個(gè)新的數(shù)值達(dá)到物理平衡,傳感元件就感應(yīng)不到實(shí)際的持續(xù)時(shí)間和數(shù)量。因此,一臺以光速運(yùn)行的傳感器很容易感應(yīng)不到微小的,瞬時(shí)的情況,一些需要大樣品體積的光學(xué)系統(tǒng)對這些情況存在的反應(yīng)是模糊的。 解決方案 阿美特克過程儀器5910型UHP水分分析儀達(dá)到了****基線穩(wěn)定性和對水分濃度ppt級改變的靈敏度,同時(shí)能夠獲得*快的響應(yīng)速度。穩(wěn)定性和靈敏度的改進(jìn)是非常仔細(xì)周全的機(jī)械設(shè)計(jì)的直接產(chǎn)物,使得您能*好地保護(hù)您的半導(dǎo)體氣體體系。 5910型水分分析儀甚至對水分濃度*輕微的變化也很敏感。我們知道這是因?yàn)樗脑肼曀降陀?0pptv。這種非凡的設(shè)計(jì)就使得它的檢測限只有150pptv。 5910型水分分析儀被設(shè)計(jì)成有*小的逆流表面積以及對于任何可用的濕度分析技術(shù)來說的*小的樣氣體積。當(dāng)這些與5910的溫控箱結(jié)合時(shí),對增加和減少的水分濃度就能達(dá)到意想不到的響應(yīng)速度:在任一方向一個(gè)25 ppbv的改變達(dá)到80%響應(yīng)所需的時(shí)間少于8分鐘。對一臺分析儀的設(shè)計(jì)更嚴(yán)格的測試是對水分濃度更微小變化的響應(yīng)速度。5910型水分分析儀的產(chǎn)品資料包含了一個(gè)性能曲線,證明了5910型水分儀的對3.4ppbv級挑戰(zhàn)的**的響應(yīng)速度。 每一款5910型水分分析儀都能通過內(nèi)在的零點(diǎn)氣體系統(tǒng)快速而**的校驗(yàn)其零點(diǎn)基線。這種零點(diǎn)校驗(yàn)確保了分析儀有穩(wěn)定的零點(diǎn)基線。這是至關(guān)重要的,因?yàn)樗蠻HP氣體的目的是獲得盡可能低的水分含量。其他技術(shù)不具備這個(gè)能力,不能確定分析儀顯示的零點(diǎn)是它實(shí)際的零點(diǎn)或者其他更高或者更低的數(shù)值。 5910型水分分析儀實(shí)質(zhì)上適合所有非腐蝕性氣體,包括惰性氣體(He, Ar, Ne, Xe, Kr), O2, H2, 和N2 。轉(zhuǎn)換氣體只是軟件菜單中的一個(gè)簡單快捷的選項(xiàng)。 典型的應(yīng)用包括質(zhì)量保證的連續(xù)監(jiān)測和臨時(shí)的車載移動分析監(jiān)測。 |